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转让:二手韩国VACOS (VTS-1600)磁控溅射真空镀膜机 8.5成新8到10年

2022-05-12|点击202次
帖子编号:121009592200652591873|
转让8.5成新8到10年
设备名称: VTS-1600
品牌:    韩国VACOS社
真空室: φ1600    x    H1600mm (SUS304) 
工件架转速: ~ Max 2 rpm
扩散泵: HT20B (EDWARDS社) 
Rotary Pump: E2M275 (EDWARDS社)
Booster Pump: EH-2600 (EDWARDS社)
Poly Cold:    北京天地精仪
阴极/靶材(Cathode/Target):    4set
Power Supply:        5 kw,  EnerPulse Power Supply (EN)    1 set
                              20 kw,  Ener Stream Power Supply (EN)_2 set
20 kw,  Pulse Gen Duo    Power Supply (EN)_2 set

设备尺寸约6000mm(W)×6500mm(D)×2500mm(H)
重量约6500kg

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